Ciekawi nas nanometrologia, czyli ocena i badania ilościowe ultramałych obiektów. Takimi obiektami są np. elementy układów nanoelektronicznych, struktury mikrobiologiczne i biochemiczne, molekuły związków chemicznych o rozmiarach od pojedynczych atomów do setek nanometrów.

W swoich badaniach wykorzystujemy i rozwijamy: mikroskopię bliskich oddziaływań (ang. SPM, AFM, STM), mikroskopię jonową i elektronową (ang. SEM/FIB), dyfraktometrię rentgenowską (ang. XRD), spektroskopię impedancyjną (ang. IS), spektroskopię głębokich stanów energetycznych (ang. DLTS), optoelektronikę i technikę światłowodową oraz zaawansowane przetwarzanie sygnałów. Badania wykonujemy nie tylko za pomocą metod i technik dostępnych komercyjnie, ale z sukcesem opracowujemy i wdrażamy własne pomysłowe i nowatorskie rozwiązania systemów elektronicznych, optoelektronicznych oraz programowych.

Rozwijamy również technologie systemów mikro- i nanoelektromechanicznych (ang. MEMS/NEMS) przeznaczonych do obserwacji zjawisk w nanoskali z rozdzielczością atomową.

Aby osiągać stawiane sobie cele, przeprowadzamy zaawansowane symulacje działania układów MEMS/NEMS (COMSOL Multiphysics, Matlab, ANSYS). Wykorzystujemy niskoszumowe i szybkie układy elektroniczne oraz współczesne technologie cyfrowe (FPGA, DSP i mikrokontrolerowe). Powszechnie tworzymy i stosujemy własne oprogramowanie (osadzone i aplikacje Windows) do przetwarzania i analizy danych pomiarowych (np. obrazów oraz sygnałów pomiarowych), używając różnych języków programowania (C, C++, C#).

Laboratoria i techniki pomiarowe